Описание
Характеристики продукта:
• Подходит для трубопроводов со сверхчистой, легковоспламеняющейся или токсичной средой в оборудовании для производства полупроводников
• Конструкция с прямой мембраной обеспечивает превосходную герметичность, замечательную долговечность, компактность, а также отсутствие частиц и мертвого пространства
• Положение клапана в открытом и закрытом состоянии легко читается с первого взгляда.
• Для всех контактирующих с газом поверхностей применяется стандарт обработки EP
• Стандартный материал седла — PEEK,Polyimide (PFA опционально)
Технические характеристики:
• Макс. Рабочее давление: 3000 psig (205 бар)
• Рабочее давление пневматики: 58 ~ 87 psig (4-6 бар)
• Макс. Рабочая температура: -23oC ~ 65oC
• Качество обработки поверхности: 10μin. Ra
• Корпус: 316L SS
• Мембрана: Elgiloy®
• Упаковка мембраны: PEEK
• Рукоятка: AL
• Допустимая утечка: 1×10-9 mbar I/s He
• Диаметр отверстия: 5 мм
• Вес: приблизительно 0,27 кг (без актуатора)
Подробное техническое описание по ссылке.
