Описание
Характеристики продукта:
• Точка отбора для сверхчистых газов для различных систем газораспределения
100 TG: ≤30 slpm присоединение 1/4 ” VFS
200 TG: ≤300 slpm присоединение 3/8” VFS
300 TG: ≤600 slpm присоединение 1/2” VFS
• Высокая точность регулирования
• Все соединения сварные или VFS
• Опция ручного или пневматического мембранного клапана
• 100%-ная проверка на герметичность гелием
Технические характеристики:
• Входное давление P1: 300psig
• Выходное давление P2: 30/60/100/150 psig
• Корпус: 316L SS
• Седло клапана: PCTFE
• Мембрана: Elgiloy®
• Максимальная степень утечки: 1×10-9 mbar I/s He
Техническое описание по ссылке.
